荷兰向中国出口光刻机，一种美国能管，一种美国管不了

美国曾禁止荷兰光刻机巨头阿斯麦，对华出口EUV光刻机。现在，又再次施压，希望限制对华出口DUV光刻机中的高端产品。但是这一次，美国没有了否决权，只能游说荷兰，不能再直接发号施令。荷兰也未必愿意再次放弃中国市场。

每台光刻机大约有一辆公共汽车那么大。运输部件需要40个货运集装箱、3架货运飞机和20辆卡车

阿斯麦对芯片禁令无感，订单创新高

荷兰阿斯麦（ASML）的CEO，温彼得最近表示，该公司今年第三季度的营收好过预期，订单达到创纪录的89亿欧元。积压的订单超过300亿欧元，阿斯麦正寻求在2025年前持续兴建新厂，扩大产能。值得注意的是，阿斯麦表示，预计美国对中国实施的芯片设备和技术管制，不会大幅影响明年对中国的出货。

早在2018年，特朗普政府就曾施压阿斯麦，不要向中国出售EUV（极紫外线）光刻机。如今的拜登政府，延续了这项政策。迄今为止，阿斯麦没有出口任何一台EUV给中国。目前，阿斯麦对华出口的，是经过翻新的DUV（深紫外线）光刻机。这次美国又故技重施，向荷兰施压，想限制阿斯麦对华出口DUV系列中的高端机器。不过，截至目前，荷兰政府并没有同意。

EUV与DUV，美国控制权大有不同

既然，阿斯麦一度倒向美国，拒绝对华出口EUV，为何如今又能顶住美国的施压，继续向中国出口DUV呢？因为在技术先进性层面，以及美国技术的占比上，二者有很大差别。

首先，是二者在技术上的区别。DUV技术含量偏低，只能做7nm及以上的芯片。不过，为已经能满足绝大多数需求，像烤面包机、冰箱，一些车内电子设备，使用的都是DUV技术。

相比之下，EUV技术可以生产7nm以下的芯片，比如5nm。 13应用的就是EUV技术。EUV的光源波长极短，因此可以制造更小的芯片，也意味着芯片更快，功耗更低。

其次，是美国对EUV和DUV技术在控制权上有差异。阿斯麦的DUV光刻技术，实际上由日本和荷兰独立发展的。DUV的核心浸没式技术，主要来自台积电。所以，美国在DUV领域不具备主导地位，只能游说荷兰，向荷兰施加压力，但不能直接发号施令。

而EUV技术自打“出生”就被美国从资本和技术层面全面掌控。实际上，当年正是美国率先完成了EUV光刻机的原型机设计和技术积累，然后找来了阿斯麦进行量产。阿斯麦现在的EUV技术，可以说是美国发明的。

截止2020年末，阿斯麦的EUV光刻机中，美国零部件占比达55%以上。而且，阿斯麦的前三大股东均来自美国。所以，阿斯麦的EUV光刻机的实际控制方，是美国，而非荷兰。阿斯麦想对华出口EUV光刻机，必须要得到美国的批准。

没有EUV，中国无法量产7nm以内芯片

为什么中国会如此想得到高端光刻机？近年来，中国不断推动科技产业。目前中国拥有28nm技术，最先进制程是14nm，另外也可小规模生产N+1nm芯片，但老早就被其他国家地区的半导体巨头甩在后头。比如，台积电和三星，早就已经开始量产7nm芯片，甚至是研发3nm和2NM。

目前，随着先进制程向5nm及以下进化，EUV技术成为了刚需。一台EUV光刻机，只有一辆公交车那么大，但工作精度已经达到了原子级，分辨率比DUV高出14倍。

DUV光刻机也能制造7nm芯片，但要经过多次曝光，这会让成本飙升，良品率也难以控制。EUV光刻机则没有这样的烦恼。而中国目前想生产7nm以下的先进制程芯片，就必须要用到EUV光刻技术，但目前中企无法购买EUV，这一直是中国半导体产业的“痛”。EUV光刻机很贵，高达2亿美元，但我们还是希望能够买到。

全球芯片制造仰赖阿斯麦，业内人士称，阿斯麦的机器很难复制，因为每一台构造都相当复杂

在10nm节点以上，阿斯麦、佳能和尼康三分天下。但是在10nm以下，阿斯麦稳稳占据100%的市场。目前，美国担心中国掌握最先进的DUV光刻技术，也就是生产7-14nm的芯片。这个部分，是EUV与DUV的功能重叠部分。现在，美国瞄准的，就是这个重叠部分。

美国要对华DUV断供，波及太广难成功

目前，荷兰没有回应美方，可能出于与中国的贸易关系。目前，中国是荷兰第三大贸易伙伴，仅次于德国与比利时，荷兰不愿意失去中国市场，也是情理之中。阿斯麦CEO温彼得也曾表示，不希望禁止向中国销售DUV光刻机，因为这已经是一项成熟的技术。他还警告，如果美国迫使阿斯麦对华停售DUV，世界半导体供应链将面临中断风险。实际上，中国已经连续二年，成为全球最大的半导体制造设备买家，支出额同比增加58%，达296.2亿美元。

阿斯麦CEO温彼得表示：如果中国尝试独立开发顶尖的光刻机技术，至少需要10年

从阿斯麦的立场来看，短期内对华禁售DUV刻光机的可能不大，因为阿斯麦在大陆地区销售主力机型就是DUV。阿斯麦2021年营收中，中国大陆占比约15%，达到27.4亿欧元（约185亿元人民币），中国大陆已超越美国成为阿斯麦的第三大市场。如果出口管制扩大到DUV，可能会极大地影响阿斯麦的利润。而且，对华禁售DUV，也将连带影响美企和供应商的利益。

现在，遏制中国高科技产业，已经成了美国的一项“既定国策”，中国在光刻机领域有严重“短板”。业内人士称，如果部分实现DUV断供，影响非同小可。芯片生产链是一个全球化的生产链，任何国家都不可能独自完成。通过自主研发，掌握部分核心科技，并不是最难的。两弹一星，就是这样搞出来的。难的是，如何让自己的技术和标准融入全球半导体产业链，被国际市场授受，成为国家财富的来源。这才是关键。